Come sappiamo ZYGO continua a mantenere il ruolo di leadership in superficie forma metrologia utilizzando laser interferometria. Essa principale misura di raggio di curvatura, superficie frangia e di trasmissione wavefront distorsione. Nel frattempo, si può migliorare la precisione e ripetibilità di processo di ispezione. Principalmente per la superficie piana, sfera, cilindro, e così via.
Garantendo la di alta superficie di precisione, è arrivato λ/20
Principale misura la lunghezza focale e centratura. Di misurazione automatica, ad alta efficienza di misura; Elevata precisione, funzione potente, un'ampia gamma di misura.
Lunghezza focale effettiva misura
Centro di centratura misura: Prisma angolo di master, qualsiasi due angolo
Tolleranza <1 ~ 2"
Campo di misura (mm) | ± 5 ~ ± 450 | -450 ~ + 450 |
Precisione di misura | 0.03% ~ 0.3% | 0.2μm |
Essere in grado di misurare le dimensioni, angoli e le posizioni di vari pezzi in modo efficiente. La geometrica parametri di taglio, strumento di misura e strumento di misura.
Prisma angolo di master, ogni due angolo di tolleranza <1 ~ 2"
Viaggi (mm) X x Y x Z | 250x150x200 |
Risoluzione di misura | 0.5μm |
Precisione di misura | X, Y precisione: (3 L/200) micron |
Ripetibilità | 2μm |
Ingrandimento ottico | 0.7X-4.5X |
Immagine di ingrandimento | 28X-180X |
1. Il classico Czerny-Turner struttura ottica, semplice, di alta precisione e di buona risoluzione spettrale
2. Il disegno di doppio reticolo e doppio ricevitore assicura che lo strumento banda di lavoro in grado di coprire la gamma completa di raggi ultravioletti visibile e vicino a raggi infrarossi regione (uv-vis-nir).
Lunghezza d'onda di misura gamma | 190-2800nm |
Metodo di scansione | Trasmissione, assorbanza, riflettività, energia |
Lunghezza d'ondaPrecisione | ± 0.5nm(UV/VIS);± 8nm(NIR) |
Linea di base Planarità | ± 0.008A(200-2500nm) |
Larghezza di banda spettrale | 0.2nm-10nm |
TENSORE 27 è una nuova generazione di ricerca-grado a raggi infrarossi spettrometro progettato da BRUKER. In tempo reale il monitoraggio on-line e sistema diagnostico è una garanzia affidabile di prestazioni superiori.
Risoluzione | 0.5 centimetri-1 |
Wavenumber precisione | Meglio 0.01 centimetri-1@ 2000 centimetri-1 |
Assorbanza precisione | Migliore 0.01% |
Gamma spettrale | 1.33-20um |